# リソグラフィ装置  

中国の国慶節が終わったばかりの中、中国商務部と海関総署は「6つの矢」を一斉に放った。具体的には、レアアース技術の輸出規制、リチウム電池関連物品の輸出規制、外国企業の不信頼リストへの追加、アメリカ船舶に特別港務費の徴収、クアルコム（Qualcomm）社への調査開始と特定の半導体開発生産関連のレアアース用途に対する重点的な審査などを発表した。これらの措置が誰に向......

中国が開発したDUV（Deep Ultraviolet）リソグラフィ装置の試作機が、上海のウエハー工場に納入されテストが進められている――そんな報道が最近、各メディアで大きく取り上げられた。この装置は最先端のEUV（極端紫外線）ではなく、商用レベルにも達していないが、米国や同盟国による輸出規制が日増しに厳しくなるなか、中国は半導体製造装置の国産化を急速に進め......